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  • HWN-L1新型納米激光直寫系統(tǒng)
    HWN-L1新型納米激光直寫系統(tǒng)

    HWN-L1新型納米激光直寫系統(tǒng)是一款大面積、高精度、可套刻、超衍射極限加工的激光直寫系統(tǒng),可用于晶圓尺寸的大面積微納加工,適用于各種微納結(jié)構(gòu)和器件制造、小批量微納器件生產(chǎn)等。該系列包括L50、L100等不同型號,具有功能強大、維護簡單、加工分辨率高、支持多種刻寫模式、支持多種受體材料等特征。本系統(tǒng)在設(shè)計之初保留了充足的物理空間和硬件資源,以滿足后續(xù)功能升級換代的需求,使產(chǎn)品具有更長的生命周期

    更新時間:2024-09-25型號:瀏覽量:12094
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